රික්ත ආලේපනය - පවතින ස්ඵටික ආලේපන ක්රමය
නිෂ්පාදනය විස්තරය
දැනට පවතින ස්ඵටික ආලේපන ක්‍රමයට ඇතුළත් වන්නේ: විශාල ස්ඵටිකයක් සමාන ප්‍රදේශ මධ්‍යම ස්ඵටිකවලට බෙදීම, පසුව මධ්‍යම ස්ඵටික බහුත්වයක් ගොඩගැසීම සහ මැලියම් සමඟ යාබද මධ්‍යම ස්ඵටික දෙකක් බැඳීම;නැවත සමාන ප්‍රදේශයක ගොඩගැසූ කුඩා ස්ඵටික බහු කණ්ඩායම්වලට බෙදන්න;කුඩා ස්ඵටික තොගයක් ගෙන, රවුම් හරස්කඩක් සහිත කුඩා ස්ඵටික ලබා ගැනීම සඳහා බහු කුඩා ස්ඵටිකවල පර්යන්ත පැති ඔප දමන්න;වෙන්වීම;කුඩා ස්ඵටික වලින් එකක් ගැනීම සහ කුඩා ස්ඵටිකවල පරිධිය පැත්තේ බිත්ති මත ආරක්ෂිත මැලියම් යෙදීම;කුඩා ස්ඵටිකවල ඉදිරිපස සහ / හෝ ප්රතිවිරුද්ධ පැති ආලේප කිරීම;අවසන් නිශ්පාදනය ලබා ගැනීම සඳහා කුඩා ස්ඵටිකවල පරිධියේ පැතිවල ආරක්ෂිත මැලියම් ඉවත් කිරීම.
පවතින ස්ඵටික ආෙල්පන සැකසුම් ක්රමය වේෆරයේ පරිධිය පැත්තේ බිත්තිය ආරක්ෂා කිරීම අවශ්ය වේ.කුඩා වේෆර් සඳහා, මැලියම් යොදන විට ඉහළ සහ පහළ පෘෂ්ඨයන් දූෂණය කිරීම පහසු වන අතර, මෙහෙයුම පහසු නොවේ.ස්ඵටිකයේ ඉදිරිපස සහ පිටුපස ආලේප කරන විට අවසානයෙන් පසුව, ආරක්ෂිත මැලියම් සෝදා ඉවත් කිරීම අවශ්ය වන අතර, මෙහෙයුම් පියවරයන් අපහසු වේ.
ක්රම
ස්ඵටිකයේ ආලේපන ක්රමය සමන්විත වන්නේ:
●පෙර සැකසූ කැපුම් සමෝච්ඡය දිගේ, පළමු අතරමැදි නිෂ්පාදනය ලබා ගැනීම සඳහා උපස්ථරය තුළ වෙනස් කරන ලද කැපීම සිදු කිරීම සඳහා උපස්ථරයේ ඉහළ මතුපිට සිට සිදුවීමට ලේසර් භාවිතා කිරීම;
●දෙවන අතරමැදි නිෂ්පාදනයක් ලබා ගැනීම සඳහා පළමු අතරමැදි නිෂ්පාදනයේ ඉහළ මතුපිට සහ/හෝ පහළ මතුපිට ආලේප කිරීම;
●පෙර සැකසූ කැපුම් සමෝච්ඡය දිගේ, දෙවන අතරමැදි නිෂ්පාදනයේ ඉහළ මතුපිට ලියා ලේසර් භාවිතයෙන් කපා ඇති අතර, ඉතිරි වූ ද්‍රව්‍යවලින් ඉලක්කගත නිෂ්පාදිතය වෙන් කිරීම සඳහා වේෆර් බෙදී ඇත.
