රික්ත ආලේපනය - පවතින ස්ඵටික ආලේපන ක්‍රමය
නිෂ්පාදනය විස්තරය
පවතින ස්ඵටික ආලේපන ක්‍රමයට ඇතුළත් වන්නේ: විශාල ස්ඵටිකයක් සමාන-ප්‍රදේශීය මධ්‍යම ස්ඵටිකවලට බෙදීම, පසුව මධ්‍යම ස්ඵටික රාශියක් ගොඩගැසීම සහ යාබද මධ්‍යම ස්ඵටික දෙකක් මැලියම් සමඟ බන්ධනය කිරීම; සමාන-ප්‍රදේශීය ගොඩගැසී ඇති කුඩා ස්ඵටිකවල බහු කණ්ඩායම්වලට නැවත බෙදීම; කුඩා ස්ඵටික තොගයක් ගෙන, බහු කුඩා ස්ඵටිකවල පර්යන්ත පැති ඔප දැමීම සඳහා රවුම් හරස්කඩක් සහිත කුඩා ස්ඵටික ලබා ගැනීම; වෙන් කිරීම; කුඩා ස්ඵටිකවලින් එකක් ගෙන, කුඩා ස්ඵටිකවල පරිධි පැති බිත්ති මත ආරක්ෂිත මැලියම් යෙදීම; කුඩා ස්ඵටිකවල ඉදිරිපස සහ/හෝ පසුපස පැති ආලේප කිරීම; අවසාන නිෂ්පාදනය ලබා ගැනීම සඳහා කුඩා ස්ඵටිකවල පරිධි පැතිවල ආරක්ෂිත මැලියම් ඉවත් කිරීම.
පවතින ස්ඵටික ආලේපන සැකසුම් ක්‍රමයට වේෆරයේ වටකුරු පැති බිත්තිය ආරක්ෂා කිරීමට අවශ්‍ය වේ. කුඩා වේෆර් සඳහා, මැලියම් යොදන විට ඉහළ සහ පහළ පෘෂ්ඨයන් දූෂණය කිරීම පහසු වන අතර, ක්‍රියාකාරිත්වය පහසු නොවේ. ස්ඵටිකයේ ඉදිරිපස සහ පිටුපස ආලේප කර ඇති විට අවසානයෙන් පසු, ආරක්ෂිත මැලියම් සෝදා ඉවත් කළ යුතු අතර, මෙහෙයුම් පියවර අපහසු වේ.
ක්රම
ස්ඵටිකයේ ආලේපන ක්‍රමයට ඇතුළත් වන්නේ:
● ● ශ්‍රව්‍ය දෘශ්‍යකරණයපෙර සැකසූ කැපුම් සමෝච්ඡය දිගේ, ලේසර් භාවිතයෙන් උපස්ථරයේ ඉහළ මතුපිට සිට සිදුවීමට උපස්ථරය තුළ නවීකරණය කරන ලද කැපීම සිදු කර පළමු අතරමැදි නිෂ්පාදනය ලබා ගන්න;
● ● ශ්‍රව්‍ය දෘශ්‍යකරණයදෙවන අතරමැදි නිෂ්පාදනයක් ලබා ගැනීම සඳහා පළමු අතරමැදි නිෂ්පාදනයේ ඉහළ මතුපිට සහ/හෝ පහළ මතුපිට ආලේප කිරීම;
● ● ශ්‍රව්‍ය දෘශ්‍යකරණයපෙර සැකසූ කැපුම් සමෝච්ඡය දිගේ, දෙවන අතරමැදි නිෂ්පාදනයේ ඉහළ මතුපිට ලේසර් භාවිතයෙන් කැටයම් කර කපා, ඉලක්කගත නිෂ්පාදනය ඉතිරි ද්‍රව්‍යයෙන් වෙන් කිරීම සඳහා වේෆරය බෙදී යයි.
